显微硬度是相对“宏观硬度”而言的一种人为的划分。目前这一概念参照国际标准ISO6507/1-82“金属材料维氏硬度试验”中规定“负荷小于0.2kgf(1.961N)无损检测资源网维氏显微硬度试验”及我国国家标准GB4342-84“金属显微维氏硬度试验方法”中规定“显微维氏硬度”负荷范围为“0.01~0.2kgf(98.07×10-3~1.961N)”而确定的。负荷≤0.2kgf(≤1.961N)的静力压入被试验样品的试验称为显微硬度试验。
显微硬度的测试原理是采用一定锥体形状的金刚石压头,施以几克到几百克质量所产生的重力(压力)压入试验材料表面,然后测量其压痕的两对角线长度。由于压痕尺度极小,必须在显微镜中测量。
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