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镀层厚度的测试方法-双光束显微镜法

来源: 作者:中国无损检测 人气: 发布时间:2024-11-15
摘要:双光束显微镜法使用的仪器主要用于测量表面粗糙度。也可用于测量透明和半透明覆盖层的厚度,特别是铝上的阳极氧化膜。 仪器的工作原理是,将一束以45入射角照射到覆盖层表面,光束的一部分从覆盖层表面反射回来。另一部分穿透覆盖层并从覆盖层基体的界面上反
双光束显微镜法使用的仪器主要用于测量表面粗糙度。也可用于测量透明和半透明覆盖层的厚度,特别是铝上的阳极氧化膜。
 
仪器的工作原理是,将一束以45°入射角照射到覆盖层表面,光束的一部分从覆盖层表面反射回来。另一部分穿透覆盖层并从覆盖层—基体的界面上反射回来。从显微镜的目镜中可以看到两个分离的图像,其距离与覆盖层的厚度成正比,并且可以用调整刻度标尺控制旋钮的方法对距离进行测量。
 
只有当镀层—基体界面上有足够的光线被反射回来,在显微镜内得到清晰的图像时,才能使用本方法。
 
对于透明或半透明的覆盖层,例如阳极氧化膜,本方法是无损的。为了测量不透明覆盖层的厚度,必须去掉一小块覆盖层,使覆盖层表面和基体之间形成一个能对光束产生折射的台阶,因此才能测量出覆盖层厚度的绝对值。在这种情况下,该方法属于破坏性测试法。
 
双光束显微镜法的测量误差通常小于10%。
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