仪器的工作原理是,将一束以45°入射角照射到覆盖层表面,光束的一部分从覆盖层表面反射回来。另一部分穿透覆盖层并从覆盖层—基体的界面上反射回来。从显微镜的目镜中可以看到两个分离的图像,其距离与覆盖层的厚度成正比,并且可以用调整刻度标尺控制旋钮的方法对距离进行测量。
只有当镀层—基体界面上有足够的光线被反射回来,在显微镜内得到清晰的图像时,才能使用本方法。
对于透明或半透明的覆盖层,例如阳极氧化膜,本方法是无损的。为了测量不透明覆盖层的厚度,必须去掉一小块覆盖层,使覆盖层表面和基体之间形成一个能对光束产生折射的台阶,因此才能测量出覆盖层厚度的绝对值。在这种情况下,该方法属于破坏性测试法。
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