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镀层厚度的测试方法-轮廓仪法

来源：作者：中国无损检测人气：发布时间：2024-11-22

摘要：轮廓仪测厚法又称触计法。它是采用镀前屏蔽或镀后溶解的方法，使基体的某一部位不存在镀层，于是基体和镀层之间形成一个台阶。当轮廓记录仪触针扫描通过这一台阶时，则可利用电气和探针的运动，确定台阶的高度（即镀层厚度）。这种方法可用来测量较宽范围的

轮廓仪测厚法又称触计法。它是采用镀前屏蔽或镀后溶解的方法，使基体的某一部位不存在镀层，于是基体和镀层之间形成一个台阶。当轮廓记录仪触针扫描通过这一台阶时，则可利用电气和探针的运动，确定台阶的高度（即镀层厚度）。这种方法可用来测量较宽范围的镀层厚度。对测量平面上从 0.01到1000μm的镀层。误差在±10%内。

轮廓记录仪有几种类型：电子触针式仪器，即表面分析仪和表面轮廓记录仪，通常用于测量表面粗糙度，也可用于记录台阶的轮廓；具有记录针的电子感应比较仪，结构比较简单，也可记录台阶的轮廓。

这两种仪器通常测量镀层厚度的范围是：电子触针式仪器为0.005~250μm，电子感应比较仪为1~1000μm。
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