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金相法测量精度高，重现性好。但此法操作复杂，要求有一定的技术和设备。故一般不作为车间生产检验之用。
本方法适用于测量2μm以上的各种金属镀层和化学保护层厚度。厚度大于8μm时，可作仲裁检验。测量误差一般为±10%。当厚度大于25μm时，使误差达到5%内。也可测量薄镀层，精确到±0.8μm。
1、仪器
使用经过校准的、带有螺丝游动测微计或目镜测微计的各种类型金相显微镜。
2、试样的准备
一般可从零件主要表面的一处或几处切取试样。镶嵌后，对横断面进行适当的研磨、抛光和浸蚀。常用的浸蚀剂。
浸蚀完毕后，试样先用清水冲洗，后用酒精洗净，以热风快速吹干。化学保护层的试样（如铝氧化膜）不必浸蚀。
3、 测定
采用螺丝游动测微计或目镜测微计的金相显微镜，按仪器操作规程进行测量。
测量仪器在测量前和测量后至少要标定一次。标定和镀层测量都应由同一操作者完成。载物台测微计和镀层应放在视场中央。在同一位置上，每次测量值至少是三次读数的平均值。如需要测量平均厚度，则应在镶嵌试样的全部长度内测量5个点，然后取平均值。
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