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探讨分析微米级硬膜软基系统在划痕试验中的破坏方式

来源：作者：中国无损检测人气：发布时间：2024-12-23

摘要：关于微米级硬膜软基系统在划痕试验中的破坏方式讨论，经过磁控溅射办法在不锈钢基底上沉积了多种不同厚度的硬质钛-硅-氮膜、氮化钛膜、碳化钛膜和类金刚石碳膜, 并对此进行实验操作。从实验研究结果分析了解:微米级厚层硬质膜的划痕试验表现出同样的规律, 即

关于微米级硬膜软基系统在划痕试验中的破坏方式讨论，经过磁控溅射办法在不锈钢基底上沉积了多种不同厚度的硬质钛-硅-氮膜、氮化钛膜、碳化钛膜和类金刚石碳膜, 并对此进行实验操作。从实验研究结果分析了解:微米级厚层硬质膜的划痕试验表现出同样的规律, 即划痕边缘在整个过程中表现出的破裂和脱落, 划痕中间部位首先出现膜层弯折破裂, 继而出现薄膜部分脱离基底, 最后完全脱离基体;而亚微米级厚度类金刚石碳膜的划痕试验在加载早期就同时出现划痕中部的薄膜破裂和脱离, 随后出现全部脱离;声发射讯号尖峰的强度、频率与微米级硬质膜破裂和脱落的程度有很好的对应关系, 而与亚微米级膜则无此对应关系。
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