气泡法
在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体,将工件沉放入水中(或者其它液体中),观察是否有气泡溢出。或者在工件表面涂肥皂水,观察是否有气泡产生。
气泡法测漏的特点:落后,污染产品,效率低下,无法自动化。
压力降法
在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体,静止一段时间,再次检测气体的压力,观察压力是否有降低,根据压力的变化来判断是否有泄漏。
压力降法的特点:落后,效率极其低下,灵敏度最低。
压力差法
原理与压力降法类似,但方法更好。在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体,同时在一个标准罐体内通入同样压力的气体,静止一段时间,观察标准罐体内的压力与工件内的压力差。这个比压力降法的精度要高,它可以排除环境温度变化带来的压力偏差。但市面上现有的压差表分辨率只有100~1000pa。
压力差法的特点:灵敏度有所提高,效率也不高。
泄漏收集法
适合阀类产品,一侧(腔体)加压,另一侧(腔体)收集泄漏气体且尽可能减小腔体体积,以增加单位泄漏量下的压力的变化速度。
泄漏收集法的特点:效率一般。
超声波探测法
超声波探测法的特点:精度很差,最小只能探测到3公斤压力下100um孔径的泄漏,这时的泄漏速度有100000立方毫米/秒以上。
卤素气体检漏法
将一定压力的卤素气体通入密闭的工件腔体中,在工件外部用卤素探测仪检测是否有卤素气体泄漏。
卤素气体检漏法的特点:精度尚可,能探测到的最小泄漏速度大约为10~20立方毫米/秒,效率一般,要在所有表面扫描探测。
氢氦气检漏法
原理与卤素气体检漏法类似,不同的是使用分子量更小,运动速度更快的氢氦气体,所以灵敏度更高。在20℃标准大气压下,水分子的运动速率约1~2m/s,氧气分子运动速率约460m/s,氢分子运动速率约1600m/s。将一定压力的氦气,通入密闭的工件腔体中,然后使用氦质谱仪检测工件的腔体周围是否有氢氦元素泄漏,这个是目前高精度检漏所用的方法,比起前面几个方法来说,精度提高了很多,当然,成本也很高。
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