表面粗糙度与零件的工作性能和使用寿命都有着密切的关系,因此人们在很早以前就认识到测量表面粗糙度的重要性。但是由于技术工艺水平的落后,最早只能单纯依靠人的视觉和触觉来估计,随着生产技术的发展,人们又采用了比较显微镜进行对比测量,但是这些比较原始的测量方法只能对表面微观不平度作出定性的综合评定,便携式粗糙度仪是近年来使用频率较高,精度最为准确的新型仪器。
近年来,随着科学技术的不断进步和“信息时代”的到来,机械、无损检测资源网光学工业对加工表面的质量要求越来越高。这主要是因为表面粗糙度不仅对机械性能、物理性能、集成电路成品率有影响,而且它还影响计算机磁盘存储器磁头和磁盘的耐磨性和寿命,同时也影响磁盘信号的读出幅度和信噪比。
不言而喻,纳米级存储密度需要有低于纳米级粗糙度的表面作为基片,否则无法实现信息提取。因此,为实现更高的表面加工质量,相应要求更高的表面粗糙度测量手段。对于物体表面粗糙度测量技术的研究由来已久,一般来说,根据是否与被测表面接触,表面粗糙度测量方法可分为两大类:接触式和非接触式。
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