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对于一些特殊要求零件的加工，可以在现有成熟的超精密元部件如超精密主轴、高精度导轨等基础上，并利用模块化技术，研制一些特种超精密加工设备，这样既能缩短研制周期，又能降低研制成本。目前状况下，粗糙度测量仪可以在一定程度上测量加工件的粗糙度，使其符合加工要求。
由于超精密加工技术的研究需要洁净的环境、严格的温度控制、昂贵的加工设备及检测设备，这一切都需要高投入，这在一定程度上限制了其研究和应用。可以通过各种途径，例如应用模块化技术降低超精密加工设备研制成本，采用局部小环境控制技术降低对整体环境的控制成本等。在此基础上，可以将先进的超精密加工技术应用于某些民用行业，取得较好的经济效益。
但是加工微机械零件不一定非要用微型加工机床，例如加工仪表零件机床的特点并不是其体积有多小，无损检测资源网而是与普通机床相比精度较高。所以微机械零件的机械加工设备的最关键指标是机床的精度，况且一味地追求减小机床体积只能加大成本。超精密加工技术由于其加工精度高、切削力小等特点，特别适合进行微机械零件的加工，这也将为微机械零件的加工开辟了一条新的途径。
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